M2100VA质量流量计
M系列是Line Tech术生产的第一代质量流量控制器/计量仪器（MFC/MFM）产品，一直以来都以卓越的性能和可靠性享有良好的声誉。M2100VA是Line Tech推出的一款高精度的模拟式气体质量流量计，主要用于测量和控制气体流量。该系列的流量计具有±1%的高精度和±0.25%的重复性，能够在广泛的流量范围内操作（从30SLPM到100SLPM），并且能够承受高达90bar的压力。广泛应用于半导体制造、真空镀膜、光电产业、燃料电池和生物反应器等领域，并且支持多种信号输出和供电方式，应用广泛。
M2100VA质量流量控制器具有以下优点：
1、高精度低流量
2、响应速度快
3、紧密连接
4、高稳定可移动传感器
5、高度耐腐蚀性
6、线性好
7、稳定性好
8、压力范围广
具体工作指标输出如下所示：
| 型号 | M2100VA |
|---|---|
| 范围(N2) | 30slpm~100slpm |
| 准确性 | 满量程的±1% |
| 重复性 | ±0.25% |
| 输入/输出信号 | 0~5Vdc或4~20mA |
| 供电 | +15 或 +24Vdc，350mA |
| 最大工作压力 | < 90 巴 |
| 最高工作温度 | 0~50℃ |
| 泄漏率 | 1X10 -9 atm.cc/sec |
| 控制范围 | 3~100% |
| 连接 | “A”尺寸（毫米） |
|---|---|
| 1/4" SW | 131 |
| 3/8 "SW | 134 |
| 1/2" SW | 133.3 |
| 1/4"VCR | 127 |
| 1/2 "VCR | 130.5 |
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