LM030C质量流量控制器
Linetech公司采用先进设备和技术，推出了一系列高性能、可靠稳定的流量控制器产品，MEMS传感器即微机电系统（Micro-electro Mechanical Systems），是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，具有体积小、成本低、功耗低、可靠性高、易于集成等特点。LM030C是Line Tech推出的一款高精度的MEMS式气体质量流量控制器，主要用于测量和控制气体流量。
传感器的使用领域如下：
堵塞检测---投影仪、PC机、服务器
燃烧控制---燃料电池、热水器、锅炉
风量检测---管道、气流测量、空调
加料速率控制---麻醉仪、制氧机
同时具有以下优点：
1、实时流量测量
2、成本低
3、响应速度快
4、压力范围广
5、线性好
6、稳定性好
7、 连接紧密
具体工作指标输出如下所示：
型号 | LD030C |
范围(N2) | 0.01slpm~30slpm |
响应时间 | <1秒 |
准确性 | 满量程的±1% |
重复性 | ±0.25% |
输入/输出信号 | 0~5Vdc or 4~20mA |
供电 | +15 or +24Vdc |
最大工作压力 | <10 bar |
最高工作温度 | 0~50℃ |
泄漏率 | 1X10 -9 atm.cc/sec |
控制范围 | 3-100% |
连接 | “A”尺寸（毫米） |
1/8" SW | 126.7 |
1/4 "SW | 128 |
3/8"SW | 134.3 |
| 1/4"VCR | 127.8 |
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