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VIC-D200 Series质量流量计
VIC-D200 Series质量流量计PDF资料：
| 型号 | DIC-D210 | DIC-D220 | DIC-D230 | DIC-D240 | DIC-D245 |
| 流量范围(N2基准) |
5 sccm ~ 1.5 slm |
1.5 slm ~ 50 slm |
50 slm ~ 100 slm |
100 slm ~ 200 slm |
200 slm ~ 400 slm |
|
流量控制范围 |
2~100% of Full Scale |
||||
|
准确度 |
≤± 1.0% of Full Scale |
||||
|
响应速度 |
≤ 1.0 sec (10~100%) |
≤ 1.2 sec (20~100%) ≤ 1.5 sec (10~20%) |
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|
直线性 |
≤± 0.2% of Full Scale |
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|
再现性 |
≤± 0.2% of Full Scale |
||||
|
控制阀门 |
Normally Closed Solenoid |
||||
|
密封种类 |
Elastomer (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez®, etc.) |
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|
输出入信号 |
模拟型：0~5VDC 或 4~20mA /字型：RS-485 (D-NET可能) |
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|
电源 |
+15VDC ~ +24VDC |
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|
操作温度 |
5~50℃ (推荐温度范围：15~35℃) |
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|
预热时间 |
15分钟 (准确度保证：30分钟) |
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|
连接方式 |
D-SUB 9P MALE |
||||
| 重量 | 0.95kg |
0.97kg |
1.33kg |
1.87kg | 3.3kg |
※ Sccm, Slm是显示标准气体流量（mL/min, L/min, at 0℃ 101.3Kpa）的符号
VIC-D200 Series 外形图
VIC-D245 Series 外形图
| 型号 | A | B | C | D | E | F | G | H | ||||||
| 1/8" LOK | 1/4" LOK | 3/8" LOK | 1/2" LOK | 3/4" LOK | 1/4" VCR | 1/2" VCR | ||||||||
| VIC-D210,220 | 76 | 122.74 | 127.32 | 130.36 | - | - | 123.8 | - | 30.8 | 12.7 | 136.8 | 14 | 48 | 20 |
|
VIC-D230 |
93.5 | - | 146.34 | 149.38 | 154.98 | 161.58 | - | 148.9 | 35.8 | 17 | 134.8 | 23 | 48 | 0 |
|
VIC-D240 |
95 | - | 147.84 | 150.88 | 156.48 | 163.08 | - | 150.4 | 40.8 | 19.5 | 153.6 | 23.5 | 48 | 20 |
| VIC-D245 | 95 | - | - | 199.92 | 205.5 | 209.08 | - | 200 | 49 | 24.5 | 151.8 | 14.5 | 54 | 24 |
流量压力事项
| 型号 | 流量 | 最低压力 | 响应速度 | 流量控制范围 |
| VIC-D200 Series | 5 sccm~10 sccm | 0.03~0.04 bar | ≤1.3 sec (10~20%) | 2~100% |
| 50 sccm~100 sccm | 0.06~0.07 bar | ≤1.1 sec (10~100%) | 1~100% | |
| 200 sccm~400 sccm | 0.08 bar | ≤1.1 sec (10~100%) | 1~100% | |
| 500 sccm~1,000 sccm | 0.09 bar | ≤1.1 sec (10~100%) | 1~100% | |
| 1.2 slm~2.0 slm | 0.1 bar | ≤1.1 sec (10~100%) | 1~100% | |
| 3 slm~6 slm | 6 | ≤1.1 sec (10~100%) | 1~100% | |
| 8 slm~12 slm | 0.13~0.25 bar | ≤1.1 sec (10~100%) | 1~100% | |
| 14 slm~18 slm | 0.3~0.5 bar | ≤1.1 sec (10~100%) | 1~100% | |
| 20 slm~24 slm | 1.1~1.3 bar | ≤1.1 sec (10~100%) | 1~100% | |
| 26 slm~30 slm | 1.4~1.6 bar | ≤1.1 sec (10~100%) | 1~100% | |
| 50slm | 3 bar | ≤1.1 sec (10~100%) | 1~100% |
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